Столкновительные процессы в низкотемпературной плазме
Издательство: МФТИ, 2007 г.
Пособие создано на основе лекций по низкотемпературной физике плазмы, читаемых студентам 3 курса физико-технического московского института. Характер подачи ориентирован на познания в общей физике и в основном базируется на классическом представлении о простейших столкновительных процессах, происходящих в низкотемпературной плазме. Рассматриваемые явления имеют важную роль в технологическом процессе изготовления наноструктурированных материалов. Описанные методы имеют широкое применение.