Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2010 г.

Учебное пособие посвящается технологиям получения главных компонентов опто-, микро- и наноэлектроники: легирующих элементов, металлов, углеродных материалов, диэлектрических материалов, вспомогательных материалов и металлоорганических соединений. Предлагаемая книга предназначается, прежде всего, для студентов, которые обучаются по специальности "Электроника и микроэлектроника". Также будет полезной специалистам, которые работают в соответствующих областях.